1.環保技術：等離子體作用過程是氣-固相干式反應，不消耗水資源、無需添加化學藥劑，對環境無污染。
2.廣適性：不分處理對象的基材類型，均可進行處理，如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料都能很好地處理；
3.溫度低：接近常溫，特別適于高分子材料，比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力。
4.功能強：僅涉及高分子材料淺表面（10-1000A），可在保持材料自身特性的同時，賦予其一種或多種新的功能；
5.低成本：裝置簡單，易操作維修，可連續運行，往往幾瓶氣體就可以代替數千公斤清洗液，因此清洗成本會大大低于濕法清洗。
6.全過程可控工藝：所有參數可由電腦設置和數據記錄，進行質量控制。
7.處理物幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理。